เทคนิค EDS ไม่สามารถวิเคราะห์หาชนิดของสารประกอบได้ เพราะ EDS จะวิเคราะห์พลังงานของการเปลี่ยนสถานะของอิเล็กตรอนในอะตอม ซึ่งค่าการเปลี่ยนระดับพลังงานเป็นค่าเฉพาะของแต่ละธาตุ ทำให้เราสามารถวิเคราะห์หาธาตุที่เป็นองค์ประกอบได้ ส่วนการวิเคราะห์สารประกอบต้องใช้เทคนิคอื่น เช่น x-ray diffraction หรือ raman microscopy หรือใช้วิธีทางเคมี ข้อมูลจาก ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ